De ASML Flow Factory wordt gerealiseerd op de nieuw te ontwikkelen BIC-campus (Brainport Industries Campus) van ASML en vormt het eerste gebouw binnen deze ontwikkeling. 

Het project bestaat uit twee afzonderlijke bouwdelen die apart worden gecertificeerd: 

1. Kantoorgebouw 
• Oppervlakte: ca. 10.000 m² 
• Ambitieniveau: BREEAM Excellent 
2. Fabriek 
• Oppervlakte: ca. 6.000 m², bestaande uit: 
o Logistiek: ca. 3.000 m² 
o Cleanroom: ca. 3.000 m² 
• Ambitieniveau: BREEAM Good 

Dit project betreft de Fabriek: ASML BIC Pilot Flow Factory Building 100

Aantal gebouwgebruikers: 200